UHP前驅體源瓶
材質(zhì):316L或特殊材質(zhì)
氦泄漏率< 4.0 × 10°mbarL/S 。
溫度范圍:-50°C至+100°C。
表面處理:EP,Ra≤0.25μm
灌裝介質(zhì)：金屬有機前驅體材料、硅基前驅體材料及其他高純前驅體化學(xué)品
可裝化學(xué)品純度：99.9999%～99.9999999%
全自動(dòng)軌道焊接技術(shù)確保罐體無(wú)焊接死角。
穩固的安全設計,所有型號的源瓶都經(jīng)過(guò)破壞性壓力測試和高空跌落測試。
與設備廠(chǎng)商充分合作，設計最佳輸送管道尺寸和形狀，所有管道路線(xiàn)與尺寸已針對飽和度和吞吐量進(jìn)行了優(yōu)化。
清晰的標簽標識管理，便于安裝。
最優(yōu)產(chǎn)量?jì)?yōu)化設計，確保了工藝中有機金屬化合物的最高收率為≥95%。
易于集成大多數現有的輔助系統和溫度控制系統。
采用高質(zhì)量材料及生產(chǎn)工藝，確保清潔、改裝和重復灌裝可輕松進(jìn)行。
- 尺寸參數
- 產(chǎn)品特性