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真空球閥
一體式耐高溫真空球閥
閥體一體式精密加工而成,MOCVD等高溫設備指定使用型號。
特殊內部結構設計,擁有自清潔功能,有效防止物料沉積。
從而保證清潔的動(dòng)態(tài)密封,防止因污染而導致故障。
泄漏率:≤1x10-9 std. cc/sec. He.
閥體材質(zhì):SUS316L。
閥芯密封材質(zhì):PTFE 。
溫度范圍:-25℃~≤205°C的間歇烘烤
模塊化設計,方便維護。
閥體帶有定位鎖,方便定位。
比同類(lèi)閥門(mén)更的大流導CV值設計,可做臨時(shí)樣品窗使用。
提供內螺紋 NPT、KF 法蘭以及插焊等多種接口方式。
可提供手動(dòng)氣動(dòng)兩種驅動(dòng)方式。
標準維護套件可以輕松維護閥門(mén)
可提供2D\3D模型,接受非標定制。如有需求可咨詢(xún)銷(xiāo)售工程師。
注意:球閥在初始操作時(shí)可能會(huì )非?!敖┯病?,這是正?,F象。
尺寸參數
產(chǎn)品特性
閥體一體式精密加工而成,MOCVD等高溫設備指定使用型號。
特殊內部結構設計,擁有自清潔功能,有效防止物料沉積。
從而保證清潔的動(dòng)態(tài)密封,防止因污染而導致故障。
泄漏率:≤1x10-9 std. cc/sec. He.
閥體材質(zhì):SUS316L。
閥芯密封材質(zhì):PTFE 。
溫度范圍:-25℃~≤205°C的間歇烘烤
模塊化設計,方便維護。
閥體帶有定位鎖,方便定位。
比同類(lèi)閥門(mén)更的大流導CV值設計,可做臨時(shí)樣品窗使用。
提供內螺紋 NPT、KF 法蘭以及插焊等多種接口方式。
可提供手動(dòng)氣動(dòng)兩種驅動(dòng)方式。
標準維護套件可以輕松維護閥門(mén)
可提供2D\3D模型,接受非標定制。如有需求可咨詢(xún)銷(xiāo)售工程師。
注意:球閥在初始操作時(shí)可能會(huì )非?!敖┯病?,這是正?,F象。
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