真空CF法蘭氣動(dòng)閘板閥
應用于半導體和其他加工領(lǐng)域等高真空或超高真空系統中，對真空泵和腔體之間的閉合。
多種法蘭接口連接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等。
真空度:1.0*10 -9Torr，
溫度范圍：-25℃~≤205°C
材質(zhì):SUS316L
表面處理:內外電解拋光。
專(zhuān)利設計，最小的外形尺寸，提供最大的流導。
壽命:10萬(wàn)次開(kāi)啟。
提供手動(dòng)或氣動(dòng)兩種驅動(dòng)方式。
手動(dòng)閥端口在3"及及以下的型號無(wú)曲向手柄。
氣動(dòng)閥端口在1.5" 及壹拾徑或更大的型號都包含用于位置指示的磁性開(kāi)關(guān)。
氣動(dòng)閥在動(dòng)力損失或氣壓損失的情況下保持關(guān)閉。
可提供2D\3D模型，接受非標定制。如有需求可咨詢(xún)銷(xiāo)售工程師。
- 尺寸參數
- 產(chǎn)品特性
