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W 形密封和 C 形密封簡(jiǎn)介

2024-07-19 16:51:55   來(lái)源:邁格諾科官網(wǎng)   游覽:

        W 形密封和 C 形密封用于半導體設備的模塊化氣體系統(IGS)通常由隔膜閥、單向閥、減壓閥、過(guò)濾器、壓力傳感器、質(zhì)量流量控制器和基塊等元件組成。這些元件一般為表面安裝式,其密封形式可分為 W 形密封和 C 形密封,選擇合適的密封形式對確保系統的密封性能至關(guān)重要。那么 W 形密封和 C 形密封有什么異同?



W 形密封和 C 形密封的相同點(diǎn)

      W 形密封墊片采用“浮動(dòng)”結構,密封面獨立于承受外力的部件,安裝時(shí)墊片的密封面分別受到表面安裝元件(比如 W 形密封閥體)和基塊上的硬化圓弧面的擠壓,并形成密封。每個(gè) W 形密封件都可以單獨安裝在系統中,因此在修改系統布局時(shí)很容易拆卸和重新安裝。此外,裝配時(shí)需要有專(zhuān)門(mén)的墊片鑷用于 W 形密封墊片,能夠在安裝過(guò)程中保證墊片的安裝質(zhì)量。


W 形密封和 C 形密封的不同點(diǎn) 

密封墊片的截面看起來(lái)像字母 “C”,兩側有兩個(gè)扁平的凸臺密封面。當適當擰緊時(shí),墊片的頂部和底部分別受到表面安裝元件(比如 C 形密封閥體)和基塊硬化密封面的擠壓,并形成密封。此外,在安裝 C 形密封墊片時(shí),可以使用支架一次性定位并安裝多個(gè)墊片。


        對于任何模塊化氣體系統(IGS),W 形密封或 C 形密封均可滿(mǎn)足要求,但是由于執行不同的 SEMI 標準,因此密封墊片和密封面的結構不同,用戶(hù)可以根據使用習慣和元件的密封形式選擇相應的 W 形密封或 C 形密封。 





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