真空閥指的是用在真空系統中的閥門(mén)，其作用通常為隔離真空區域（如工藝腔室） 或控制氣體進(jìn)出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導體制造過(guò)程始終，因此真空閥在 半導體設備中也有著(zhù)普遍而廣泛的應用。真空閥和普通閥門(mén)在類(lèi)型上沒(méi)有本質(zhì)區別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調節閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在半導體設備的 真空系統中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應用較多。

       球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線(xiàn)旋轉，球體隨閥桿轉動(dòng)從而達到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空 等均可使用，同時(shí)在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高溫的系統中也均可適用。

產(chǎn)品特性：

閥體一體式精密加工而成，專(zhuān)為MOCVD等高溫設備設計型號。

特殊內部結構設計，擁有自清潔功能，有效防止物料沉積。

從而保證清潔的動(dòng)態(tài)密封，防止因污染而導致故障。

泄漏率:≤1x10-9 std. cc/sec. He.

閥體材質(zhì):SUS316L。

閥芯密封材質(zhì):PTFE 。

溫度范圍：-25℃~≤205°C的間歇烘烤

模塊化設計，方便維護。

閥體帶有定位鎖，方便定位。

比同類(lèi)閥門(mén)更的大流導CV值設計，可做臨時(shí)樣品窗使用。

提供內螺紋 NPT、KF 法蘭以及插焊等多種接口方式。

可提供手動(dòng)氣動(dòng)兩種驅動(dòng)方式。

標準維護套件可以輕松維護閥門(mén)

可提供2D\3D模型，接受非標定制。如有需求可咨詢(xún)銷(xiāo)售工程師。

注意：球閥在初始操作時(shí)可能轉動(dòng)扭矩比較大，這是正?，F象。